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本发明涉及智能芯片制造技术领域，公开了一种智能芯片生产用晶圆表面清洗装置，包括清洗箱，清洗箱内安装有放置晶圆的网板；还包括与清洗箱连通的气源，以及使清洗箱横向运动的驱动机构，气源提供的气体从网板的下方向上运动。驱动机构使清洗箱横向运动，使得...
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