下载制备多晶硅薄膜的方法、阵列基板、显示面板的技术资料

文档序号:21304503

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本发明公开了制备多晶硅薄膜的方法、阵列基板、显示面板。具体的,本发明提出了一种制备多晶硅薄膜的方法,包括:提供衬底;在所述衬底上形成多晶硅预制层,所述多晶硅预制层的表面具有多个凸起;在所述多晶硅预制层远离所述衬底的一侧形成光刻胶层;对所述光...
该专利属于合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

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