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一种基于MEMS技术的单刀双掷敏感组件及含有该敏感组件的压力开关制造技术
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下载一种基于MEMS技术的单刀双掷敏感组件及含有该敏感组件的压力开关的技术资料
文档序号:21304420
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一种基于MEMS技术的单刀双掷敏感组件及含有该敏感组件的压力开关,涉及压力开关技术领域。本发明是为了解决基于MEMS技术制作的微机械型压力开关适用范围窄的问题。单刀双掷敏感组件的上支撑体上开有内引压孔,上支撑体的外表面及内引压孔的内表面均覆...
该专利属于王伟;王焱秋所有,仅供学习研究参考,未经过王伟;王焱秋授权不得商用。
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