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本发明公开了一种用于OPC验证的验证图形的量化分析方法，包括步骤：步骤一、创建验证图形的图形索引并存入数据库；步骤二、统计错误点，截取比对图形块，计算特征值，创建各特征值对应的错误点索引；将错误点索引、对应的比对图形块和特征值存入数据库；步...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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