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本发明提供了一种双台光配向装置，包括：照明单元、第一工件台、第二工件台、第一驱动单元、第二驱动单元和控制器，照明单元配置为形成配向区域，第二工件台高于第一工件台的高度，第一驱动单元配置为驱动第一工件台往返于第一待机位和配向区域之间，第二驱动...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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