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本发明公开了一种蒸镀装置，使用掩模进行蒸镀，其具备：掩模箱，所述掩模箱用于承载多层掩模；以及掩模箱室，所述掩模箱室用于放置所述掩模箱，其中，所述蒸镀装置还具备对掩模箱的位置进行检测的位置检测系统，能够检测掩模箱在掩模箱室中的位置，从而使得掩...
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