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一种加工微结构阵列的超精密加工装置制造方法及图纸
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下载一种加工微结构阵列的超精密加工装置的技术资料
文档序号:21289693
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本发明公开了一种加工微结构阵列的超精密加工装置,包括飞切运动装置、低频振动台和数控系统,飞切运动装置设置于X向进给平台上,低频振动台设置于Y向工作台上,Y向工作台竖直设置于Z向进给平台上,X向进给平台和Z向进给平台位于同一平面内且相互垂直,...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。
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