下载IQC设备及金属掩膜片的展平方法的技术资料

文档序号:21288892

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本发明提供一种IQC设备及金属掩膜片的展平方法。该IQC设备包括载台以及设于所述载台下方的展平单元;所述载台用于承载金属掩膜片;该金属掩膜片在载台上沿水平方向或沿竖直方向卷曲;所述展平单元用于通过磁力将金属掩膜片卷曲的部分向靠近载台的方向吸...
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