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文档序号:21281901
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本发明以如下方式构成:加速度检测器(4)检测固定部(101)的加速度,位置检测器(2)检测相对于固定部(101)的可动部(102)的位置,位置控制部件(减法器(5)及增益调整部(6))输出基于由位置检测器(2)所检测到的位置与基准位置Pr的...
该专利属于阿自倍尓株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过阿自倍尓株式会社授权不得商用。
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