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一种有机半导体阵列晶体的制备方法技术
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文档序号:21276462
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本发明提供了一种有机半导体阵列晶体的制备方法,包括如下步骤:在基底上施加聚合物绝缘层;在施加有所述聚合物绝缘层的所述基底上进行光刻,从而获得带有阵列式排布的周期性图形的基底;将光刻后的所述基底进行反应离子刻蚀并去胶,从而获得强极性表面与弱极...
该专利属于苏州大学所有,仅供学习研究参考,未经过苏州大学授权不得商用。
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