下载聚酰亚胺前驱物及其所制得的光刻图案的技术资料

文档序号:21266114

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本发明有关于一种聚酰亚胺前驱物及其所制得的光刻图案。此聚酰亚胺前驱物具有如下式(I)所式的重复单元:...
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