下载激光加工前对外部光学系统异常进行警报的激光加工装置的技术资料

文档序号:21261731

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本发明涉及激光加工装置,尤其涉及在激光加工前对外部光学系统的异常进行警报的激光加工装置。激光加工装置具备:反射板,其相对于出射光的光轴被垂直配置且相对于出射光具有一定的反射率;返回光测定部,其经由分束器对由反射板反射并返回至外部光学系统的返...
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