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本实用新型揭示了一种烘干槽，及包括该烘干槽的湿法刻蚀机，所述烘干槽包括槽体、设置在所述槽体中的用于承载硅片的下滚轮，所述下滚轮驱动所述硅片沿硅片前进方向移动，所述烘干槽还包括分别设置在所述下滚轮两侧的烘干上风机和烘干下风机，所述烘干上风机吹...该专利属于盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司授权不得商用。