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一种晶圆载盘遮蔽结构，包括一腔体、一载盘、一载台及一屏蔽，该载盘的顶面具有数个凹槽供容置晶圆，且可藉由一机械手臂送入或送出该腔体，该载台可升降地设于该腔体之中且可供承载该载盘，该屏蔽结合在该腔体之中且位于该载台的上方，并具有与该载盘上的晶圆...
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