下载一种聚酰亚胺基电阻式薄膜应变传感器及其制备方法与应用的技术资料

文档序号:21241101

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种聚酰亚胺基电阻式薄膜应变传感器及其制备方法与应用。所述应变传感器自下而上包括:聚酰亚胺基片、敏感栅薄膜以及电极层,所述敏感栅为钨钛合金薄膜,所述钨钛合金薄膜由65~85%的钨和35~15%的钛组成。所述感应器的制备方法为:(...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。