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本申请实施例公开了一种清洁整孔剂及其使用方法，该清洁整孔剂包括葡萄糖酸钠、氯化铵、多乙烯多胺、低级醇、非离子表面活性剂、阴离子表面活性剂和去离子水。与现有技术中的清洁整孔剂相比，本发明采用包含葡萄糖酸钠、氯化铵、多乙烯多胺、低级醇、非离子表...
该专利属于湖南互连微电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南互连微电子材料有限公司授权不得商用。

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