下载晶片研磨抛光装置的技术资料

文档序号:21239672

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本实用新型提供一种晶片研磨抛光装置,包括晶片夹持机构与研磨抛光机构;研磨抛光机构包括研磨抛光座、晶片夹持调节杆、研磨抛光电机以及研磨抛光杆;晶片夹持机构包括连接筒、夹持筒以及夹持块。本实用新型能够对晶片进行有效稳定地夹持,同时能够根据需要对...
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