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一种硅表面镀层及其制备工艺和用途制造技术
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文档序号:21220867
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本发明公开了一种硅表面镀层及其制备工艺和用途,该工艺包含:(1)将单晶硅试样放入SnCl2/HCl溶液中敏化;(2)将敏化试样浸泡在PdCl2/HCl/HF溶液中活化;(3)将活化试样浸泡在无电镀镍溶液中镀镍;(4)将镀镍试样在H2/Ar环...
该专利属于西京学院所有,仅供学习研究参考,未经过西京学院授权不得商用。
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