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本发明公开了一种改善狭缝涂布头上光阻结晶的方法，其是在所述狭缝涂布头的外表面上设置疏水疏油涂层。本发明中通过在狭缝涂布头的外表面设置疏水疏油涂层，解决了狭缝涂布头上光阻结晶的问题，有效地减少狭缝涂布头表面光阻结晶物的残留，从而提高了狭缝涂布...
该专利属于信利光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过信利光电股份有限公司授权不得商用。

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