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本发明公开了一种声表面波器件的封装方法及结构,其中一种方法包括:在设置有临时键合层的载板表面形成金属层;在金属层上形成凸点和第一介质层,第一介质层包覆凸点侧壁的部分并露出凸点;将表面设置有第二介质层的声表面波器件设置在第一介质层表面,其中,...该专利属于华进半导体封装先导技术研发中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华进半导体封装先导技术研发中心有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种声表面波器件的封装方法及结构,其中一种方法包括:在设置有临时键合层的载板表面形成金属层;在金属层上形成凸点和第一介质层,第一介质层包覆凸点侧壁的部分并露出凸点;将表面设置有第二介质层的声表面波器件设置在第一介质层表面,其中,...