温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

极紫外线成像工具的液滴产生器包括熔化的金属的贮槽、及具有连接至贮槽的第一末端及相对的第二末端的喷嘴，此相对的第二末端为熔化的金属液滴从喷嘴排出之处。进气口连接至喷嘴，且隔离阀位于喷嘴的第二末端，此隔离阀配置以将喷嘴与周遭隔离。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。