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本发明涉及一种可获得光谱信息的白光显微干涉测量系统及方法，属于精密测量领域，包括宽光谱光源、第一分束器、第一显微物镜、第二分束器、第二显微物镜、第一CCD探测器和光谱探测模块；光源发出的光经分束器分成反射光与透射光，分别经过参考光路与测试光...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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