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本发明公开了探头定位偏差的检测及其辅助方法、装置及系统，该探头定位偏差的检测方法包括：获取探头在控制器控制下朝向坐标板上的目标位置移动后到达第一位置时，控制器所反馈的第一探头坐标；获取探头实际到达目标位置时，控制器所反馈的第二探头坐标；根据...
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