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一种环形微机电陀螺敏感结构制造技术
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文档序号:21179322
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本发明属于惯性测量技术领域,具体涉及一种环形微机电陀螺敏感结构;该结构包括外环、锚接点、组合梁、驱动电极组、检测电极组和调谐电极组;锚接点位于中心,外环通过多个组合梁与锚接点连接,外环与锚接点同心,外环的上、下底面悬空设置,驱动电极组和检测...
该专利属于北京自动化控制设备研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京自动化控制设备研究所授权不得商用。
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