下载微小滚转角与直线度同步高精度测量干涉仪以及测量方法的技术资料

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本发明提出了一种微小滚转角与直线度同步高精度测量干涉仪以及测量方法,其通过采用双频激光光源发出的光经Koster棱镜将其分为两束频率不同、振动方向不同的光,两束光通过四分之一波片、楔面棱镜、楔面反射镜后汇聚从Koster棱镜另一面射出后,经...
该专利属于上海理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海理工大学授权不得商用。

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