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本实用新型公开了一种表面粗糙度测量装置，其属于机械加工技术领域，包括测量平台、垫片和粗糙度仪，测量平台的上表面开设有容置槽，待测件位于容置槽内且待测件的至少一侧与容置槽的内壁抵接；垫片位于容置槽内且支撑于待测件的下方，待测件的被测面与测量平...
该专利属于上海超硅半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海超硅半导体有限公司授权不得商用。

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