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具有单电子晶体管检测器的量子点器件制造技术
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下载具有单电子晶体管检测器的量子点器件的技术资料
文档序号:21177383
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本文公开了具有单电子晶体管(SET)检测器的量子点器件。在一些实施例中,量子点器件可包含:量子点形成区域;设置在量子点形成区域上的一组栅极,其中该组栅极至少包含第一、第二和第三栅极,间隔物设置在第一栅极和第二栅极的多侧上,其中第一间隔物设置...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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