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公开了用于垂直结高速相位调制器的方法和系统，并且系统可以包括半导体装置，该半导体装置具有半导体波导，该半导体波导包括平板部、在平板部上方延伸的肋部以及在肋部两侧在平板部上方延伸的凸起脊。该半导体装置具有垂直pn结，其中，p掺杂材料和n掺杂材...
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