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使用薄透镜进行粒子检测制造技术
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下载使用薄透镜进行粒子检测的技术资料
文档序号:21175233
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光学激发系统,包括基板(105),该基板(105)包括:用于将分析物(109)递送到至少一个感兴趣区域(103)中的至少一个递送装置(104),用于将来自至少一个辐射载体(101)的至少一个辐射光束引导到至少一个感兴趣区域(103)中的至少...
该专利属于IMEC非营利协会所有,仅供学习研究参考,未经过IMEC非营利协会授权不得商用。
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