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本发明涉及一种复合涂层结构的制备方法，包括以下步骤：S1，提供金属基底；S2，对金属基底在形成单质镍层后进行退火处理以得到由金属基底与单质镍层组成的结合结构；S3，提供氟化硅混合气体，将结合结构暴露于氟化硅混合气体中以使得单质镍层与氟化硅反...
该专利属于中国科学院上海应用物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海应用物理研究所授权不得商用。

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