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本实用新型公开了一种用于原子层沉积装置的双层门体组件，包括第一门板和第二门板，第一门板包括内侧面和外侧面，第二门板位于内侧面一侧且和第一门板间隔形成安装空间，第二门板在内侧面所在平面上的正投影位于内侧面上。位于安装空间内的内侧面上设置有加热...
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