下载一种通用多面体溅射镀膜装置的技术资料

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本实用新型涉及薄膜制备技术领域,尤其涉及一种通用多面体溅射镀膜装置,其特征在于:所述基板装载板的外侧表面呈多面体状,包括若干承载面,若干所述承载面均竖直布置且每个所述承载面的大小满足于可承载所述基板的要求。本实用新型的优点是:可保证镀膜的膜...
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