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一种晶圆研磨载具制造技术
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下载一种晶圆研磨载具的技术资料
文档序号:21157641
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本实用新型提供了一种晶圆研磨载具,解决了现有的晶圆研磨载具一次加工的晶圆数量较少,加工效率较低的问题;一种晶圆研磨载具,包括载具体、设置在所述载具体顶面上的研磨装置和设置在所述载具体上的控制装置;所述研磨装置包括研磨体,所述研磨体包括挡板和...
该专利属于武汉震奎科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉震奎科技有限公司授权不得商用。
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