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一种化学机械平面化系统包括：单片式台板，位于台板壳体内，其中所述单片式台板是由单个材料块形成，其中所述单片式台板包括位于第一开口内的第一部分以及位于第二开口内的第二部分，其中所述第一部分具有与所述第二部分不同的直径；以及抛光流体递送模块，位...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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