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本公开涉及一种晶圆清洁设备。此设备包括由不可燃材料组成的外壳、晶圆支架、清洁喷嘴、至少一感应器、及排气单元。晶圆支架可夹持及加热晶圆。清洁喷嘴可供应清洁流体至晶圆的表面。至少一感应器可检测晶圆的特性。排气单元可排出外壳中的清洁流体产生的蒸气...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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