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本实用新型提供一种用于检测晶圆背面的形貌的检测设备，其中，检测设备包括晶圆背面检测装置、边缘区域吸盘及中心区域吸盘；晶圆背面检测装置位于晶圆背面下方与晶圆平行设置；边缘区域吸盘用于吸附晶圆背面边缘区域，并显露晶圆背面中心区域；中心区域吸盘用...
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