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本实用新型属于半导体设备领域，涉及一种具有清洁功能的镀膜机，至少包括：腔体，位于腔体内侧顶部用于放置片源的金属承载盘，位于腔体外侧顶部并驱动金属承载盘旋转的第一驱动机构，位于腔体内侧底部的第二驱动机构，以及产生等离子体对片源进行镀膜的多个镀...
该专利属于安徽三安光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽三安光电有限公司授权不得商用。

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