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本公开提供一种用于降低MEMS传感器应力的组装结构及制备方法，该用于降低MEMS传感器应力的组装结构，包括：组装基台、金属引脚、柔性连接件以及MEMS传感器敏感芯体；组装基台沿其周向设置有N个金属引脚，N≥2；柔性连接件用于将MEMS传感器...
该专利属于中国科学院电子学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电子学研究所授权不得商用。

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