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本发明涉及一种基于拉链梳齿的MEMS驱动器及其工作方法，属于微机电技术领域，包括可动部分、固定梳子、固定锚点和基底层，固定梳子和固定锚点均固定于基底层；固定梳子与可动梳子成对交叉分布，施加电压时，可动部分绕同一平面内驱动器外侧一个虚轴点旋转...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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