下载大口径平面镜的轮廓检测装置及其检测方法的技术资料

文档序号:21128410

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本发明提供了一种大口径平面镜的轮廓检测装置及其检测方法,包括机床、设置于机床上的旋转台、移动机构、摆臂轮廓仪、电子水平仪以及被检平面镜,被检平面镜设置于旋转台上,旋转台带动被检平面镜绕被检平面镜的轴线转动。摆臂轮廓仪包括依次连接的摆臂转台、...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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