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激光蒸发多腔体纳米粉体制备装置制造方法及图纸
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文档序号:21127709
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本发明涉及纳米粉体制备技术领域,具体是激光蒸发多腔体纳米粉体制备装置。设置至少两个主腔室粉体生成单元;各主腔室粉体生成单元分别通过各自真空支管道连接到真空主管道,真空主管道连接到真空泵组系统;各主腔室粉体生成单元分别通过各自排气支管道连接到...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。
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