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本发明提供一种晶圆清洗机构，包括驱动电机、晶圆夹紧支架及晶圆喷洗机件，驱动电机上设置有进气口、进液口及接线口，驱动电机内部中空，驱动电机内设置有气流管路及液流管路，进气口与气流管路相通，进液口与液流管路相通；晶圆夹紧支架设置于驱动电机的输出...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。