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光学编码器和包括该光学编码器的测量装置制造方法及图纸
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下载光学编码器和包括该光学编码器的测量装置的技术资料
文档序号:21113059
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目的:提供一种光学编码器和包括该光学编码器的测量装置,其在受光单元的检测范围内实现均匀的特性并提高测量精度的同时防止光学编码器的大小增大。解决方式:该光学编码器(2)包括:光源(3);多个衍射光栅(4),其包括平行布置有多个槽的光栅面;以及...
该专利属于株式会社三丰所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社三丰授权不得商用。
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