温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，公开了一种半导体处理设备，包括工艺腔室、基座、传动轴以及波纹管，还包括：作业抽气组件，与工艺腔室相连通，作业抽气组件设置成能够自工艺腔室抽出气体；清洁抽气组件，与波纹管的底部相连通，清洁抽气组件设置成能...
该专利属于德淮半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。