下载全硅棒滚磨设备及全硅棒滚磨方法的技术资料

文档序号:21102714

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本申请公开的一种全硅棒滚磨设备及全硅棒滚磨方法,该全硅棒滚磨设备包括:机座,承载装置,线切割装置,夹紧滚动装置以及滚动研磨装置,其中,滚动研磨装置用于与夹紧滚动装置配合以对夹紧滚动装置夹紧的全硅棒的圆周面进行研磨。实现在同一台设备上完成对全...
该专利属于浙江集英精密机器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江集英精密机器有限公司授权不得商用。

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