下载一种人构性高介电常数的介电薄膜的技术资料

文档序号:21094587

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种人构性高介电常数的介电薄膜。该介电薄膜包括多个周期性重叠的子薄膜单元,每个单元由低漏电材料的子薄膜与高介电材料的子薄膜重叠构成,每一层子薄膜的厚度均小于1nm;介电薄膜的最底层和最上层均为低漏电材料的子薄膜;低漏电材料和...
该专利属于美国麦可松科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过美国麦可松科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。