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一种柔性铁电场效应管及其制备方法技术
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文档序号:21093916
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本发明公开了一种柔性铁电场效应管,包括:水平衬底、源极、漏极和缓冲层;水平衬底经过刻蚀后达到预设厚度,使水平衬底可实现预设弯曲半径范围的弯曲;源极和漏极间隔设置在水平衬底的一面上;源极设置有源电极;漏极设置有漏电极;缓冲层设置在水平衬底的一...
该专利属于湘潭大学所有,仅供学习研究参考,未经过湘潭大学授权不得商用。
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