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一种凹槽阳极平面耿氏二极管及制作方法技术
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文档序号:21093910
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本发明涉及一种凹槽阳极平面耿氏二极管,包括:衬底;成核层,位于衬底上;背势垒层,位于成核层上;沟道层,位于背势垒层上;势垒层,位于沟道层上;势垒层和沟道层上设置有凹槽,凹槽将沟道层和势垒层形成的2DEG沟分割为第一2DEG沟道和第二2DEG...
该专利属于西北工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西北工业大学授权不得商用。
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