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本申请提供了一种开关半导体器件及其制备方法、固态移相器，该开关半导体器件包括呈三明治结构堆叠的第二半导体层、第一本征层、第一半导体层、第二本征层和第三半导体层。第一本征层位于第二半导体层和第一半导体层之间并形成第一PIN二极管；第二本征层位...
该专利属于华为技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华为技术有限公司授权不得商用。

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