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本发明公开了一种用于测量薄膜掺杂比例的传感器、方法及装置，通过设置控制电极层、绝缘层以及导通电极层，其中，导通电极层可以包括：间隔设置的至少两个导通子电极。在衬底基板上形成掺杂有预设掺杂离子的待测量薄膜时，通过对控制电极层加载第一电压，对与...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司授权不得商用。